mems传感器是什么传感器
2025-01-20
MemS传感器是什么传感器? MemS传感器的概念 MemS传感器是指微机电系统传感器,是一种基于微机电技术制造的传感器。微机电技术是将微型机械结构、微型电子电路和微型传感器、微型执行器等组成一体的技术。这种技术可以将传感器、处理器和通信设备集成在一起,从而实现高度集成化和小型化。 MemS传感器的原理 MemS传感器的原理是利用微机电技术将传感器的敏感元件制造在微米级别的硅基片上,通过微机电技术制造出的传感器具有高灵敏度、高精度、高可靠性和高集成度等特点。MemS传感器可以通过微机电技术制造